氢氟酸气相腐蚀机（MHFF-01AP）成功落户于杭州士兰集成电路有限公司，应用于半导体集成电路生产中硅片的金属化工艺。

    本设备由微构龙科技研发制造，具有独立的技术知识产权，具有规模化生产能力（6inch，52片）、程序化控制、良好的安全操作和运行性能，工艺稳定可靠等特点，适合规模化生产公司使用。

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    http://www.szmst.com/cn/products.asp?menuid=122

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