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产品信息 |
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产品信息 |
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| 微电镀台-MP-01AR |
产品名称：晶片（硅片）微电镀机
产品型号：MP-01AR
产品类型：研发型
工艺类型：Au，Ag，Ni，Cu，Sn电镀
应用范围：MEMS, Semiconductor, LED, Advanced package等 |
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| 微电镀台-MP-01AP |
产品名称：晶圆（硅片）微电镀机
产品型号：MP-01AP
产品类型：生产型
工艺类型：Au，A个，Ni，Cu，Sn电镀
应用范围：MEMS, Semiconductor, LED, Advanced package等 |
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| 氢氟酸气相腐蚀台-MHFF-01AR |
产品名称：氢氟酸气相腐蚀机
产品型号：MHFF-01AR
产品类型：研发型
工艺类型：SiO2腐蚀
应用范围：硅片背面金属化工艺和MEMS RELEASE工艺 |
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| 氢氟酸气相腐蚀台-MHFF-01AP |
产品名称：氢氟酸气相腐蚀机
产品型号：MHFF-01AP
产品类型：生产型
工艺类型：SiO2腐蚀
应用范围：硅片背面金属化工艺和MEMS REEASE工艺 |
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| 硅片全自动清洗腐蚀机-MC-01AP-A8 |
产品名称：硅片全自动清洗腐蚀机
产品型号：MC-01AP-A8
产品类型：生产型
工艺类型：硅片清洗腐蚀
应用范围：半导体集成电路生产 |
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