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晶圆旋转腐蚀清洗机通过客户验收 2013-11-18
合作：氢氟酸气相腐蚀机落户杭州士兰集成 2013-10-28
合作：氢氟酸气相腐蚀机落户苏州纳米所 2013-10-28
小型集成式微电镀台（贵重金属） 2011-10-11
MST专利证书（氢氟酸气相腐蚀） 2011-10-11
湿法PSS腐蚀机通过客户验收 2011-10-11
MST专利信息 2009-11-20
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