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产品信息 |
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产品信息 |
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电化学多孔硅腐蚀机-MEC-01AR |
产品名称:电化学多孔硅腐蚀机
产品型号:MEC-01AR
产品类型:研发型
工艺类型:多孔硅腐蚀
应用范围:半导体,MEMS,光电
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电化学多孔硅腐蚀机-MEC-01AP |
产品名称:电化学多孔硅腐蚀机
产品型号:MEC-01AP
产品类型:生产型
工艺类型:多孔硅腐蚀
应用范围:SEMI,MEMS,OPTO |
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晶圆旋转腐蚀清洗机-MME-01AR-6A |
产品名称:晶圆旋转腐蚀清洗机
产品型号:MME-01AR-6A
产品类型:研发和生产型
工艺类型:Au, Cr, Ni, Cu, Ti, AL和dielectric腐蚀
应用范围:SEMI,MEMS,LED,OPTO |
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金属剥离清洗机-MNME-02AR-L |
产品名称:金属剥离清洗机
产品型号:MNME-02AR-L
产品类型:研发和生产型
工艺类型:lift-off process
应用范围:SEMI,MEMS,LED,OPTO |
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温控腐蚀台-MME-03AR |
产品名称:温控腐蚀台
产品型号:MME-03AR
设产品类型:研发型
工艺类型:高温腐蚀金属和介质(非氟类腐蚀液)
应用范围:SEMI,MEMS.LED,OPTO
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