氢氟酸气相腐蚀机（MHFF-01AR）成功落户于中国科学院苏州纳米所，应用于MEMS Release Process的研发。

    本设备由微构龙科技研发制造，具有独立的技术知识产权，具有小型化设计、操作方便、兼容性强（6inch或以下硅片，以及任意形状的硅片），良好的安全操作和运行性能，工艺稳定和多样性等特点，适合高等院校、研究所和科研单位用于MEMS工艺和金属化工艺的研发和小批量生产。

    关于设备的详细内容，可查阅网站的相关内容：

    http://www.szmst.com/cn/products.asp?menuid=122

    或通过以下方式直接联系微构龙科技：

    邮件：mst168@126.com

    电话：Tel：+86 0755 22303270

    手机： +86 13699877985

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