MST于2009年11月17日成功申请中国专利：腐蚀腔装置及气相腐蚀设备。 专利申请号为：200920260358.2

MST的MHFF系列设备就是此项专利的代表性产品。具体参考网页WWW.SZMST.COM中的产品信息。